高頻感應加熱電源頻率大于10OkHz，通常使用的頻率范圍在100一300kHz高頻電源現有兩種類型，即電子管高頻振蕩電源和晶體管MOSFET高頻電源。前者是20世紀60年代的產品，正逐步被后者所取代。
晶體管高頻感應加熱電源正取代電子管振蕩電源，成為高頻段員域的主要電源。根據使用的晶體管類型不同，又分為MOSFET和SIT高頻感應加熱電源。隨著新型大功率器件的應用，該系列高頻電源將得到進一步的發展。以下介紹功率MOSFET串聯逆變高頻感應加熱電源概況。
(1)功率MOSFET串聯逆變電路結構，下圖表示MOSFET 串聯逆變高頻電源的電路結構。從圖中可知，其電路結構與晶閘管串聯逆變中頻電源電路結構相似。整流電路由VRl~VR6組成三相橋式全控整流，輸出直流電壓Ud可調，用于調節輸出功率。整流后的單相直流電經濾波后供給逆變電路。逆變電路中Vl~V4采用MOSFET晶體管與VDl一VD4二極管并聯組成逆變電路。
(2)逆變電路的工作原理 功率MOSFET串聯逆變電路的工作原理類似晶閘管串聯逆變中頻電源。由于功率MOSFET具有自關斷能力，其逆變電路的工作頻率f與負載電路的諧振頻率fo相等，負載電壓電流相位差等于0。這種工作狀態下，功率MOSFET工作在零電流開關狀態下，有利于減小其開關損耗，顯著提高了電路的效率。
(3)功率MOSFET高頻電源的應用 由于這類電源的頻率很高主要用于金屬零件的表面強化處理，特殊情況下可用于細鋼絲或T尚王要用于金屬零件的表面強化處理。
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